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    产品详情
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    • 产品型号:Sygnus,sygnus 2
    • 产品厂商:INFICON
    • 产品文档:
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    简单介绍:
    Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多独特的功能,可帮助您实现 OLED 过程的极大价值。
    详情介绍:

    Cygnus 2 薄膜沉积控制器

    为 OLED 应用提供上佳测量精度



    Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多独特的功能,可帮助您实现 OLED 过程的极大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行业中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能,赋予您的过程超卓的可重复性。


    功能

    • INFICON ModeLock 技术确保获得极高、极稳定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
    • Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度
    • 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制超多 6 个来源,无需使用两个或三个控制器
    • 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
    • 10 Hz 测量
    • 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
    • USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
    • 多个源厚度合计功能
    • 测量低密度、低速率材料的平均速率(使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积超多 30 秒)
    • 速率显示分辨率可达0.001?
    • 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
    • 无沉积控制允许持续控制源,因为基片可以通过沉积室不断循环
    • 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
    • 可选以太网通信
    • 符合 RoHS 标准


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